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FSM 8018 VITE测验系列设备VITE技能介绍:VITE是傅里叶频域技能,运用近红外光源的相位剪切技能(Phase shear technology)设备介绍适用于一切可让近红外线经过的资料:硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………运用: 衬底厚度(不受图画硅片、有胶带、凹凸或许粘合硅片影响) 平整度 厚度改变 (TTV) 沟槽深度 过孔尺度、深度、侧壁视点 粗糙度薄膜厚度不同半导体资料的厚度 环氧树脂厚度 衬底翘曲度 晶圆凸点高度(bump height)MEMS 薄膜丈量TSV 深度、侧壁视点…F50测厚规模:20nm-70μm;波长:380-1050nm。Filmetrics F54膜厚仪美元报价集成电路毛病剖析毛病剖析 (FA) 技能用来寻觅并确认集成电路内的毛病原因。毛病剖析中需求进行薄膜厚度丈量的两种首要类型是正面去层(用于传统的面朝上的电路封装) 和反面薄化(用于较新的覆晶技能正面朝下的电路封装)。正面去层正面去层的工艺需求了解电介质薄化后剩下电介质的厚度。反面毛病剖析反面毛病剖析需求在电路体系成像前移除大部分硅晶粒的厚度,并了解在每个薄化进程后剩下的硅厚度是适当要害的。 Filmetrics F3-sX是为了丈量在不同的反面薄化进程的硅层厚度而专门规划的体系。 厚度从5微米到1000微米能够很简单的丈量,别的可选配模组来延伸**小丈量厚度至0.1微米,一起具有单点和多点测绘的版别可供挑选。丈量典范現在我們运用我們的 F3-s1550 体系丈量在不同的反面薄化进程的硅层厚度.具備特别光學設計之 F3-S1550运用比直徑更小於10μm的光斑尺度得以測量拋光以及粗糙或不均勻外表的硅层厚度授权膜厚仪当地价格紫外光可测验的深度:优 秀的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或许厚样的近外表部分应力。触摸探头丈量曲折和难测的外表CP-1-1.3丈量平面或球形样品,健壮经用的不锈钢单线圈。CP-1-AR-1.3能够抑 制反面反射,对 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%。 钢制单线圈外加PVC涂层,** 大可测厚度 15um。CP-2-1.3用于探入更小的凹外表,直径 17.5mm。CP-C6-1.3勘探直径小至 6mm 的圆柱形和球形样品外侧。CP-C12-1.3用于直径小至 12mm 圆柱形和球形样品外侧。CP-C26-1.3用于直径小至 26mm 圆柱形和球形样品外侧。CP-BendingRod-L350-2曲折长度 300mm,总长度 350mm 的触摸探头。 用于难以抵达的区域,但不会主动对准外表。CP-ID-0to90Deg-2用于食物和饮料罐头内壁的触摸探头。CP-RA-3mmDia-200mmL-2直径**小的触摸探头,装备微型直角反射镜,用来丈量小至直径 3mm 管子的内壁,不能主动对准外表。CP-RA-10mmHigh-2装备微型直角反射镜,能够在相隔 10mm 的两个平整外表之间进行丈量。氚灯电脑要求60mb硬盘空间50mb闲暇内存usb接口电源要求100-240vac,50-60hz,a选配以下镜头,就可在F20的基础上晋级为新一代的F70膜厚丈量仪。镜头配件厚度规模(Index=)精度光斑巨细UPG-F70-SR-KIT15nm-50μmnm标配mm(可选配下至20μm)LA-CTM-VIS-1mm50μmmμm5μm150μmmμm10μm产品运用,在可测样品基底上有了极大的腾跃:●简直一切资料外表上的镀膜都能够丈量,即使是药片,木材或纸张等粗糙的非通明基底。●玻璃或塑料的板材、管道和容器。●光学镜头和眼科镜片。Filmetrics光学膜厚丈量仪经历**无出其右Filmetrics光学膜厚丈量仪经历**无出其右Filmetrics光学膜厚丈量仪经历**无出其右Filmetrics光学膜厚丈量仪经历**无出其右Filmetrics光学膜厚丈量仪经历**无出其右Filmetrics光学膜厚丈量仪经历**无出其右。F50-NIR测厚规模:100nm-250μm;波长:950-1700nm。F54包含的内容:集成光谱仪/光源设备MA-Cmount 装置转接器显微镜转接器光纤衔接线BK7参阅资料TS-Focus-SiO2-4-10000厚度规范 聚集/厚度规范4″, 6″ and 200mm参阅晶圆真空泵备用灯类型厚度规模*波长规模F54:20nm-40μm 380-850nmF54-UV:4nm-30μm 190-1100nmF54-NIR:40nm-100μm 950-1700nmF54-EXR:20nm-100μm 380-1700nmF54-UVX:4nm-100μm190-1700nm*取决于资料与显微镜额定的优点:每台体系內建超越130种资料库, 跟着不同运用更超越数百种运用工程师可马上供给协助(周一 – 周五)网上的 “手把手” 支撑 (需求衔接互联网)硬件晋级方案FSM拉曼的运用:部分应力; 部分化学成分;部分损害。官方授权经销商膜厚仪保修期多久FSM413SP半主动机台人工取放芯片。Filmetrics F54膜厚仪美元报价软件晋级供给专门用处的软件。UPG-RT-to-Thickness晋级的厚度求解软件,需求UPG-Spec-to-RT。UPG-Thickness-to-n&k晋级的折射率求解软件,需求UPG-RT-to-Thickness。UPG-F10-AR-HC为F10-AR晋级的FFT硬涂层厚度丈量软件。包含TS-Hardcoat-4um厚度规范。厚度丈量规模。UPG-RT-to-Color&Regions晋级的颜色与光谱区域剖析软件,需求UPG-Spec-to-RT。其他:手提电脑手提电脑预装FILMeasure软件、XP和Microsoft工作软件。电脑提箱用于带着F10、F20、F30和F40体系的提箱。ConflatFeedthrough真空穿通,”conflat、双收支孔SMA,并经过走漏测验。LensPaper-CenterHole中心开孔镜头纸,用于维护面朝下的样品,5本各100张。Filmetrics F54膜厚仪美元报价岱美仪器技能服务(上海)有限公司位于金高路2216弄35号6幢306-308室,交通便当,环境优美,是一家贸易型企业。岱美我国是一家其他有限责任公司企业,一向遵循“以人为本,服务于社会”的运营理念;“优质高速,诚守诺言,持续发展”的质量方针。公司一直坚持客户需求***的准则,致力于供给高质量的[ “半导体工艺设备”, “半导体丈量设备”, “光刻机 键合机”, “膜厚丈量仪”]。岱美我国将以真挚的服务、立异的理念、高品质的产品,为互相赢得全新的未来!

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